°ëµ¼ÌåÆ÷¼þ·ÖÀàÒÔ¼°³£¼ûµÄ°ëµ¼ÌåÆ÷¼þ
- ·¢²¼Ê±¼ä£º2022-09-02 10:04:29
- ä¯ÀÀÁ¿£º828
°ëµ¼ÌåÆ÷¼þÊǵ¼µçÐÔ½éÓÚÁ¼µ¼µçÌåÓë¾øÔµÌåÖ®¼ä£¬ÀûÓð뵼Ìå²ÄÁÏÌØÊâµçÌØÐÔÀ´Íê³ÉÌØ¶¨¹¦Äܵĵç×ÓÆ÷¼þ£¬¿ÉÓÃÀ´²úÉú¡¢¿ØÖÆ¡¢½ÓÊÕ¡¢±ä»»¡¢·Å´óÐÅ ºÅºÍ½øÐÐÄÜÁ¿×ª»»¡£
°ëµ¼ÌåÆ÷¼þµÄ°ëµ¼Ìå²ÄÁÏÊǹ衢Õà»òÉé»¯ïØ£¬¿ÉÓÃ×÷ÕûÁ÷Æ÷¡¢Õñµ´Æ÷¡¢·¢¹âÆ÷¡¢·Å´óÆ÷¡¢²â¹âÆ÷µÈÆ÷²Ä¡£ÎªÁËÓ뼯³Éµç·ÏàÇø±ð£¬ÓÐʱҲ³ÆÎª·ÖÁ¢Æ÷¼þ¡£¾ø´ó²¿·Ö¶þ¶ËÆ÷¼þ£¨¼´¾§Ìå¶þ¼«¹Ü£©µÄ»ù±¾½á¹¹ÊÇÒ»¸öPN½á¡£
°ëµ¼ÌåÆ÷¼þ·ÖÀà
¾§Ìå¶þ¼«¹Ü
¾§Ìå¶þ¼«¹ÜµÄ»ù±¾½á¹¹ÊÇÓÉÒ»¿é PÐͰ뵼ÌåºÍÒ»¿éNÐͰ뵼Ìå½áºÏÔÚÒ»ÆðÐγÉÒ»¸ö PN½á¡£ÔÚPN½áµÄ½»½çÃæ´¦£¬ÓÉÓÚPÐͰ뵼ÌåÖеĿÕѨºÍNÐͰ뵼ÌåÖеĵç×ÓÒªÏ໥Ïò¶Ô·½À©É¢¶øÐγÉÒ»¸ö¾ßÓпռäµçºÉµÄż¼«²ã¡£Õâż¼«²ã×èÖ¹ÁË¿ÕѨºÍµç×ӵļÌÐøÀ©É¢¶øÊ¹PN½á´ïµ½Æ½ºâ״̬¡£µ±PN½áµÄP¶Ë£¨PÐͰ뵼ÌåÄDZߣ©½ÓµçÔ´µÄÕý¼«¶øÁíÒ»¶Ë½Ó¸º¼«Ê±£¬¿ÕѨºÍµç×Ó¶¼Ïòż¼«²ãÁ÷¶¯¶øÊ¹Å¼¼«²ã±ä±¡£¬µçÁ÷ºÜ¿ìÉÏÉý¡£Èç¹û°ÑµçÔ´µÄ·½Ïò·´¹ýÀ´½Ó£¬Ôò¿ÕѨºÍµç×Ó¶¼±³Àëż¼«²ãÁ÷¶¯¶øÊ¹Å¼¼«²ã±äºñ£¬Í¬Ê±µçÁ÷±»ÏÞÖÆÔÚÒ»¸öºÜСµÄ±¥ºÍÖµÄÚ(³Æ·´Ïò±¥ºÍµçÁ÷)¡£Òò´Ë£¬PN½á¾ßÓе¥Ïòµ¼µçÐÔ¡£´ËÍ⣬PN½áµÄż¼«²ã»¹ÆðÒ»¸öµçÈݵÄ×÷Óã¬ÕâµçÈÝËæ×ÅÍâ¼ÓµçѹµÄ±ä»¯¶ø±ä»¯¡£ÔÚż¼«²ãÄÚ²¿µç³¡ºÜÇ¿¡£µ±Íâ¼Ó·´Ïòµçѹ´ïµ½Ò»¶¨ãÐֵʱ£¬Å¼¼«²ãÄÚ²¿»á·¢ÉúÑ©±À»÷´©¶øÊ¹µçÁ÷ͻȻÔö¼Ó¼¸¸öÊýÁ¿¼¶¡£ÀûÓÃPN½áµÄÕâÐ©ÌØÐÔÔÚ¸÷ÖÖÓ¦ÓÃÁìÓòÄÚÖÆ³ÉµÄ¶þ¼«¹ÜÓУºÕûÁ÷¶þ¼«¹Ü¡¢¼ì²¨¶þ¼«¹Ü¡¢±äƵ¶þ¼«¹Ü¡¢±äÈݶþ¼«¹Ü¡¢¿ª¹Ø¶þ¼«¹Ü¡¢ÎÈѹ¶þ¼«¹Ü£¨ÔøÚ«¶þ¼«¹Ü£©¡¢±ÀÔ½¶þ¼«¹Ü£¨Åöײѩ±À¶ÉÔ½¶þ¼«¹Ü£©ºÍ·ýÔ½¶þ¼«¹Ü£¨·ý»ñµÈÀë×ÓÌåÑ©±À¶ÉԽʱ¼ä¶þ¼«¹Ü£©µÈ¡£´ËÍ⣬»¹ÓÐÀûÓÃPN½áÌØÊâЧӦµÄËíµÀ¶þ¼«¹Ü£¬ÒÔ¼°Ã»ÓÐPN½áµÄФÍÑ»ù¶þ¼«¹ÜºÍ¹¢Ê϶þ¼«¹ÜµÈ¡£
Ë«¼«Ð;§Ìå¹Ü
ËüÊÇÓÉÁ½¸öPN½á¹¹³É£¬ÆäÖÐÒ»¸öPN½á³ÆÎª·¢Éä½á£¬ÁíÒ»¸ö³ÆÎª¼¯µç½á¡£Á½¸ö½áÖ®¼äµÄÒ»±¡²ã°ëµ¼Ìå²ÄÁϳÆÎª»ùÇø¡£½ÓÔÚ·¢Éä½áÒ»¶ËºÍ¼¯µç½áÒ»¶ËµÄÁ½¸öµç¼«·Ö±ð³ÆÎª·¢É伫ºÍ¼¯µç¼«¡£½ÓÔÚ»ùÇøÉϵĵ缫³ÆÎª»ù¼«¡£ÔÚÓ¦ÓÃʱ£¬·¢Éä½á´¦ÓÚÕýÏòÆ«Ö㬼¯µç¼«´¦ÓÚ·´ÏòÆ«Öá£Í¨¹ý·¢Éä½áµÄµçÁ÷ʹ´óÁ¿µÄÉÙÊýÔØÁ÷×Ó×¢Èëµ½»ùÇøÀÕâЩÉÙÊýÔØÁ÷×Ó¿¿À©É¢Ç¨ÒƵ½¼¯µç½á¶øÐγɼ¯µç¼«µçÁ÷£¬Ö»Óм«ÉÙÁ¿µÄÉÙÊýÔØÁ÷×ÓÔÚ»ùÇøÄÚ¸´ºÏ¶øÐγɻù¼«µçÁ÷¡£¼¯µç¼«µçÁ÷Óë»ù¼«µçÁ÷Ö®±È³ÆÎª¹²·¢É伫µçÁ÷·Å´óϵÊý¡£ÔÚ¹²·¢É伫µç·ÖУ¬Î¢Ð¡µÄ»ù¼«µçÁ÷±ä»¯¿ÉÒÔ¿ØÖƺܴóµÄ¼¯µç¼«µçÁ÷±ä»¯£¬Õâ¾ÍÊÇË«¼«Ð;§Ìå¹ÜµÄµçÁ÷·Å´óЧӦ¡£Ë«¼«Ð;§Ìå¹Ü¿É·ÖΪNPNÐͺÍPNPÐÍÁ½Àà¡£
³¡Ð§Ó¦¾§Ìå¹Ü
³¡Ð§Ó¦¾§Ìå¹ÜÒÀ¿¿Ò»¿é±¡²ã°ëµ¼ÌåÊܺáÏòµç³¡Ó°Ïì¶ø¸Ä±äÆäµç×裨¼ò³Æ³¡Ð§Ó¦£©£¬Ê¹¾ßÓзŴóÐźŵŦÄÜ¡£Õⱡ²ã°ëµ¼ÌåµÄÁ½¶Ë½ÓÁ½¸öµç¼«³ÆÎªÔ´ºÍ©¡£¿ØÖƺáÏòµç³¡µÄµç¼«³ÆÎªÕ¤¡£
¸ù¾ÝÕ¤µÄ½á¹¹,³¡Ð§Ó¦¾§Ìå¹Ü¿ÉÒÔ·ÖΪÈýÖÖ£º
¢Ù½áÐͳ¡Ð§Ó¦¹Ü(ÓÃPN½á¹¹³ÉÕ¤¼«)£»
¢ÚMOS³¡Ð§Ó¦¹Ü£¨ÓýðÊô-Ñõ»¯Î뵼Ìå¹¹³ÉÕ¤¼«,¼û½ðÊô£¾øÔµÌ声뵼Ìåϵͳ£©£»
¢ÛMES³¡Ð§Ó¦¹Ü£¨ÓýðÊôÓë°ëµ¼Ìå½Ó´¥¹¹³ÉÕ¤¼«£©;ÆäÖÐMOS³¡Ð§Ó¦¹ÜʹÓÃ×î¹ã·º¡£ÓÈÆäÔÚ´ó¹æÄ£¼¯³Éµç·µÄ·¢Õ¹ÖÐ,MOS´ó¹æÄ£¼¯³Éµç·¾ßÓÐÌØÊâµÄÓÅÔ½ÐÔ¡£MES³¡Ð§Ó¦¹ÜÒ»°ãÓÃÔÚGaAs΢²¨¾§Ìå¹ÜÉÏ¡£
ÔÚMOSÆ÷¼þµÄ»ù´¡ÉÏ,ÓÖ·¢Õ¹³öÒ»ÖÖµçºÉñîºÏÆ÷¼þ (CCD)£¬ËüÊÇÒÔ°ëµ¼Ìå±íÃæ¸½½ü´æ´¢µÄµçºÉ×÷ΪÐÅÏ¢£¬¿ØÖƱíÃæ¸½½üµÄÊÆÚåʹµçºÉÔÚ±íÃæ¸½½üÏòijһ·½Ïò×ªÒÆ¡£ÕâÖÖÆ÷¼þͨ³£¿ÉÒÔÓÃ×÷ÑÓ³ÙÏߺʹ洢Æ÷µÈ£»ÅäÉϹâµç¶þ¼«¹ÜÁÐÕ󣬿ÉÓÃ×÷ÉãÏñ¹Ü¡£
³£¼û°ëµ¼ÌåÆ÷¼þ
¶þ¼«¹Ü£º¶þ¼«¹ÜÊÇÒ»ÖÖµç×ÓÆ÷¼þ£¬¾ßÓÐÁ½²»¶Ô³Æµçµ¼µÄµç¼«£¨¹ÊÃû“¶þ¼«”£©£¬Ö»ÔÊÐíµçÁ÷Óɵ¥Ò»·½ÏòÁ÷¹ý£¬ËùÒÔ×î³£Ó¦ÓÃÆäÕûÁ÷¹¦ÄÜ¡£ÔÚ°ëµ¼ÌåÐÔÄܱ»·¢Ïֺ󣬰뵼Ìå¶þ¼«¹Ü³ÉΪÁËÊÀ½çÉϵÚÒ»ÖÖ°ëµ¼ÌåÆ÷¼þ¡£
Èý¼«¹Ü£ºÈý¼«¹Ü,È«³ÆÓ¦Îª°ëµ¼ÌåÈý¼«¹Ü,Ò²³ÆË«¼«Ð;§Ìå¹Ü¡¢¾§ÌåÈý¼«¹Ü,ÊÇÒ»ÖÖ¿ØÖƵçÁ÷µÄ°ëµ¼ÌåÆ÷¼þ¡£Æä×÷ÓÃÊǰÑ΢ÈõÐźŷŴó³É·ù¶ÈÖµ½Ï´óµÄµçÐźÅ,Ò²ÓÃ×÷ÎÞ´¥µã¿ª¹Ø¡£
³¡Ð§Ó¦¹Ü£º³¡Ð§Ó¦¹ÜÊǵç×Ó²úÆ·µÄ»ù±¾Ä£¿éÖ®Ò»£¬Ò²ÊÇÖÆÔì×îΪƵ·±µÄÔª¼þ¡£³¡Ð§Ó¦¹ÜÊÇÊý×ÖºÍÄ£Ä⼯³Éµç·ÖÐÕ¼Ö÷µ¼×÷ÓõÄÔª¼þ£¬Ò²Êdz£¼ûµÄ¹¦ÂÊÆ÷¼þ¡£³¡Ð§Ó¦¹ÜÒѾʵÏÖ¼¯³É£¬¹ã·ºÓ¦ÓÃÔڴ洢оƬºÍ´¦ÀíÆ÷ÖС£
¾§Õ¢¹Ü£º¾§Õ¢¹ÜÊǾ§ÌåÕ¢Á÷¹ÜµÄ¼ò³Æ£¬ÓֿɳÆ×ö¿É¿Ø¹èÕûÁ÷Æ÷£¬ÒÔǰ±»¼ò³ÆÎª¿É¿Ø¹è£»¾§Õ¢¹ÜÊÇPNPNËIJã°ëµ¼Ìå½á¹¹£¬ËüÓÐÈý¸ö¼«£ºÑô¼«£¬Òõ¼«ºÍÃż«; ¾§Õ¢¹Ü¾ßÓйèÕûÁ÷Æ÷¼þµÄÌØÐÔ£¬ÄÜÔڸߵçѹ¡¢´óµçÁ÷Ìõ¼þϹ¤×÷£¬ÇÒÆä¹¤×÷¹ý³Ì¿ÉÒÔ¿ØÖÆ¡¢±»¹ã·ºÓ¦ÓÃÓÚ¿É¿ØÕûÁ÷¡¢½»Á÷µ÷ѹ¡¢ÎÞ´¥µãµç×Ó¿ª¹Ø¡¢Äæ±ä¼°±äƵµÈµç×Óµç·ÖС£
ÒÔÉϼ¸ÖÖ¾ÍÊÇ¿·¢¡¤K8¹ú¼Ê-(Öйú)Ê×Ò³µÇ¼ÈÕ³£¼¸´ó³£Óõİ뵼Ìåµç×ÓÔªÆ÷¼þ£¬ÔÚµç×ÓÁìÓòÓ¦Ó÷dz£µÄ¹ã·º£¬´ó¼Ò¿ÉÒÔÉÔ΢Á˽âÏ¡£
¿·¢¡¤K8¹ú¼Ê-(Öйú)Ê×Ò³µÇ¼µç×Ó£¬Ò»Õ¾Ê½µç×ÓÖÆÔì·þÎñÉÌ£¬ÌṩpcbÉè¼Æ¡¢Ó¡ÖƵç·°å¡¢ÌùƬ¼Ó¹¤¡¢ÔªÆ÷¼þ²É¹ºµÈ£¬ÔªÆ÷¼þÔÚÏßbomÅäµ¥
ÃâÔðÉùÃ÷£º²¿·ÖÎÄÕÂÐÅÏ¢À´Ô´ÓÚÍøÂçÒÔ¼°ÍøÓÑͶ¸å£¬±¾ÍøÕ¾Ö»¸ºÔð¶ÔÎÄÕ½øÐÐÕûÀí¡¢ÅŰ桢±à¼£¬ÒâΪ·ÖÏí½»Á÷´«µÝÐÅÏ¢£¬²¢²»Òâζ×ÅÔÞͬÆä¹Ûµã»ò֤ʵÆäÄÚÈݵÄÕæÊµÐÔ£¬Èç±¾Õ¾ÎÄÕºÍת¸åÉæ¼°°æÈ¨µÈÎÊÌ⣬Çë×÷ÕßÔÚ¼°Ê±ÁªÏµ±¾Õ¾£¬¿·¢¡¤K8¹ú¼Ê-(Öйú)Ê×Ò³µÇ¼»á¾¡¿ìºÍÄú¶Ô½Ó´¦Àí¡£
